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PHS樹(shù)脂
一、產(chǎn)品性能與用途
PHS樹(shù)脂是一種用于深紫外光刻膠的高性能感光樹(shù)脂,廣泛應用于半導體芯片制造中的光刻工藝環(huán)節。其核心性能包括高純度、高分辨率、優(yōu)異的熱穩定性和化學(xué)穩定性,能夠滿(mǎn)足半導體制造對高精度、高可靠性的嚴苛要求,有效提升光刻膠在芯片圖案化過(guò)程中的成像質(zhì)量和工藝穩定性。此外,還可用于電子封裝材料、涂料和粘合劑等領(lǐng)域。
二、技術(shù)指標
| 檢測項目 | 指標-1 | 指標-2 |
| 外觀(guān) | 淡黃色透明液體 | 淡黃色透明液體 |
| 固含量/% | ≥35.0 | ≥35.0 |
| 重均分子量(Mw) | 10000±2000 | 14000±1000 |
| 分子量分布寬度(PD) | ≤1.55 | ≤1.25 |
| 單金屬離子含量/ppb | <10 | <10 |
注:可根據客戶(hù)要求定制不同結構、分子量、金雜含量的產(chǎn)品。
三、包裝與貯存
包裝:采用電子級塑料桶包裝,每桶重量1kg、2kg、5kg、10kg或20kg?筛鶕蛻(hù)需求定制。貯存:陰涼處儲存,避免陽(yáng)光直射,遠離熱源,貯存期12個(gè)月。
四、安全防護
操作時(shí)注意勞動(dòng)保護,應避免與皮膚、眼睛等直接接觸,接觸后用大量清水沖洗。
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